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電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)是重大裝備制造業(yè)的重要分支，是知識、技術(shù)、資本高度密集型產(chǎn)業(yè)，處于電子信息產(chǎn)業(yè)鏈^高端，其基礎(chǔ)性強(qiáng)、關(guān)聯(lián)度高、技術(shù)難度大、進(jìn)入門檻高，決定著一個(gè)國家或地區(qū)電子信息產(chǎn)品制造業(yè)的整體水平，也是電子信息產(chǎn)業(yè)綜合實(shí)力的重要標(biāo)志。  
　　前言  
　　電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)是重大裝備制造業(yè)的重要分支，是知識、技術(shù)、資本高度密集型產(chǎn)業(yè)，處于電子信息產(chǎn)業(yè)鏈^高端，其基礎(chǔ)性強(qiáng)、關(guān)聯(lián)度高、技術(shù)難度大、進(jìn)入門檻高，決定著一個(gè)國家或地區(qū)電子信息產(chǎn)品制造業(yè)的整體水平，也是電子信息產(chǎn)業(yè)綜合實(shí)力的重要標(biāo)志。  
　　電子儀器產(chǎn)業(yè)是電子信息產(chǎn)業(yè)重要的基礎(chǔ)性產(chǎn)業(yè)，具有高投入、多品種、小批量、更新?lián)Q代快的特點(diǎn)，在國民經(jīng)濟(jì)總產(chǎn)值中的占比不高，但對經(jīng)濟(jì)發(fā)展的“杠桿”和“倍增”作用卻^巨大。  
　　為推動(dòng)電子專用設(shè)備儀器產(chǎn)業(yè)持續(xù)發(fā)展，縮小與國際同類產(chǎn)品的差距，根據(jù)《工業(yè)轉(zhuǎn)型升級“十二五”規(guī)劃》、《信息產(chǎn)業(yè)“十二五”發(fā)展規(guī)劃》和《電子信息制造業(yè)“十二五”發(fā)展規(guī)劃》，制定本規(guī)劃。  
　　本規(guī)劃涉及電子專用設(shè)備和電子儀器兩大行業(yè)，是“十二五”期間我國電子專用設(shè)備儀器產(chǎn)業(yè)發(fā)展的指導(dǎo)性文件和加強(qiáng)行業(yè)管理、組織實(shí)施重大工程的依據(jù)。  
　　一、“十一五”產(chǎn)業(yè)發(fā)展回顧  
　　產(chǎn)業(yè)規(guī)模持續(xù)穩(wěn)定增長  
　　我國電子專用設(shè)備儀器產(chǎn)業(yè)在“十一五”期間保持了較高的增速，雖然期間受國際金融危機(jī)影響，2008年下半年至2009年上半年呈現(xiàn)出下滑態(tài)勢，但在國內(nèi)多項(xiàng)政策激勵(lì)下，隨著世界經(jīng)濟(jì)逐步回暖，電子專用設(shè)備儀器業(yè)企穩(wěn)回升，實(shí)現(xiàn)了生產(chǎn)、銷售和經(jīng)濟(jì)效益總體平穩(wěn)增長的態(tài)勢。  
　　據(jù)工業(yè)和信息化部運(yùn)行監(jiān)測協(xié)調(diào)局統(tǒng)計(jì)，“十一五”期間我國電子專用設(shè)備銷售收入年均增長率為20%，從2005年的783億元增長到超過1987億元，電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會統(tǒng)計(jì)的行業(yè)骨干企業(yè)年均增長率為25%，從52.7億元增長到160.6億元。工業(yè)和信息化部運(yùn)行監(jiān)測協(xié)調(diào)局統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)表明，“十一五”期間我國電子儀器規(guī)模以上企業(yè)年增長19%，到“十一五”末實(shí)現(xiàn)銷售收入940億元。五年間，電子專用設(shè)備儀器產(chǎn)品中太陽能光伏設(shè)備以及元器件參數(shù)測量儀器、超低頻測量儀器等保持了較大幅度的增長。  
　　重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域取得較大成績  
　　“十一五”期間，國家科技重大專項(xiàng)圍繞光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、65納米制造工藝、先進(jìn)封裝設(shè)備等重點(diǎn)任務(wù)，集中資源重點(diǎn)投入，取得很大進(jìn)展。北方微電子及上海中微公司2種12英寸65納米刻蝕機(jī)產(chǎn)品樣機(jī)已進(jìn)入大生產(chǎn)線進(jìn)行考核驗(yàn)證；上海微電子公司封裝光刻機(jī)已進(jìn)入長電科技考核測試；七星華創(chuàng)12英寸氧化爐已進(jìn)入大線測試；中科信12英寸離子注入機(jī)已完成3臺樣機(jī)組裝，正在進(jìn)行測試。多種12英寸關(guān)鍵設(shè)備陸續(xù)進(jìn)入大生產(chǎn)線考核驗(yàn)證，標(biāo)志著我國集成電路設(shè)備產(chǎn)業(yè)已初步形成產(chǎn)業(yè)化發(fā)展態(tài)勢。  
　　“十一五”期間新興產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，為電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)帶來了良好的發(fā)展契機(jī)。尤其是我國晶硅太陽能電池設(shè)備年均增長率達(dá)到58%，基本具備了從晶體硅到太陽能電池片的成套生產(chǎn)線設(shè)備供應(yīng)能力，為我國光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供了有力保障。晶硅太陽能設(shè)備爆發(fā)式增長，為電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)“十一五”規(guī)劃目標(biāo)提供了有力支撐。